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光学膜厚仪

光学膜厚仪是一款精准又好用的薄膜厚度测量设备。它能测低至20纳米的超薄薄膜，测量误差小于1纳米，最快每秒可测100次，重复测量精度高达0.05纳米。它采用双光源组合，覆盖紫外到红外全光谱，抗干扰能力强，在振动或复杂环境下也能稳定工作。
产品品牌： 霍尔德•电子
价格： 我要询价
厂商性质： 生产厂家
产品时间： 2026-03-13
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产品概述

光学膜厚仪应用领域

广泛应用于半导体与微电子制造、显示面板、光学器件制造、生物医学、汽车及新材料与新能源研发等领域，能满足从晶圆镀膜、显示面板薄膜到光学元件镀膜、医用植入物涂层、汽车玻璃膜层及新能源薄膜的高精度厚度检测需求，助力各行业提升产品质量与研发效率。


光学膜厚仪技术参数

型号HD-FT50UVHD-FT50NIR
建议工作距离非聚焦光束，安装距离5至10mm安装侧面出光附加镜时：34.5mm±2mm；
轴向出光时：55mm±2mm；
测量角度±10°±5°
光斑类型弥散光斑；在10mm安装距离时，光斑直径约为4mm；聚焦光斑；约200μm
探头外径*长度Φ6.35*3200mm³Φ20*73mm
探头重量190g108g（探头）、49g（附加镜）
光源类型氘卤光源卤素光源
波长范围190-1100nm400-1100nm；1000-1700nm
测厚范围约20nm~50μm（折射率1.5时）约50nm~50μm（折射率1.5时）
适配探头UV-VISVIS-NIR轴向；
VIS-NIR径向；（标配其一）
可连探头数量1
探头防护等级IP40
重复精度0.05nm
准确度<±1nm或±0.3%（取较大值）
采样频率Max.100Hz（视求解参数复杂度而定）
测控软件专用上位机软件
电源电压220V±20V50HzAC/
最大功率50W
工作温度-10至+40℃
相对湿度20%至85%RH（无冷凝）
控制器重量约5000g


光学膜厚仪




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