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反射膜厚测量仪

反射膜厚测量仪是一款精准又好用的薄膜厚度测量设备。它能测低至20纳米的超薄薄膜,测量误差小于1纳米,最快每秒可测100次,重复测量精度高达0.05纳米。它采用双光源组合,覆盖紫外到红外全光谱,抗干扰能力强,在振动或复杂环境下也能稳定工作。
产品品牌: 霍尔德•电子
价格: 我要询价
厂商性质: 生产厂家
产品时间: 2026-03-13

产品概述

反射膜厚测量仪是一款精准又好用的薄膜厚度测量设备。它能测低至20纳米的超薄薄膜,测量误差小于1纳米,每秒可测100次,重复测量精度高达0.05纳米。它采用双光源组合,覆盖紫外到红外全光谱,抗干扰能力强,在振动或复杂环境下也能稳定工作。


反射膜厚测量仪技术参数

型号HD-FT50UVHD-FT50NIR
建议工作距离非聚焦光束,安装距离5至10mm安装侧面出光附加镜时:34.5mm±2mm;
轴向出光时:55mm±2mm;
测量角度±10°±5°
光斑类型弥散光斑;在10mm安装距离时,光斑直径约为4mm;聚焦光斑;约200μm
探头外径*长度Φ6.35*3200mm³Φ20*73mm
探头重量190g108g(探头)、49g(附加镜)
光源类型氘卤光源卤素光源
波长范围190-1100nm400-1100nm;1000-1700nm
测厚范围约20nm~50μm(折射率1.5时)约50nm~50μm(折射率1.5时)
适配探头UV-VISVIS-NIR轴向;
VIS-NIR径向;(标配其一)
可连探头数量1
探头防护等级IP40
重复精度0.05nm
准确度<±1nm或±0.3%(取较大值)
采样频率Max.100Hz(视求解参数复杂度而定)
测控软件专用上位机软件
电源电压220V±20V50HzAC/
最大功率50W
工作温度-10至+40℃
相对湿度20%至85%RH(无冷凝)
控制器重量约5000g


反射膜厚测量仪



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